矽化鉑在積體電路應用上之材料性質與製程技術

標題:	矽化鉑在積體電路應用上之材料性質與製程技術 Material Properties and Process Technologies of Platinum silicide Relevant to VLSI Applications
作者:	崔秉銊陳茂傑電子研究所
公開日期:	1991
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT804430030 http://hdl.handle.net/11536/56483
Appears in Collections:	Thesis