标题: | 矽化铂在积体电路应用上之材料性质与制程技术 Material Properties and Process Technologies of Platinum silicide Relevant to VLSI Applications |
作者: | 崔秉銊 陈茂杰 电子研究所 |
公开日期: | 1991 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT804430030 http://hdl.handle.net/11536/56483 |
显示于类别: | Thesis |