橢圓儀的校正和待測物光學參數的測定

Abstract

橢圓係利用光的偏極特性(polarization property) 來量材料的折射率，吸收和厚度 等光學參數，橢圓儀橢圓偏光係數(ellipsometric parameters)Φ及△與平行和垂直 反射光的關係，可由Fresnel equation導出，利用偏光片和析光片的旋轉測得Φ和△ ，進一步推算出待測物的光學參數。 實驗分成兩個步驟，第一個步驟是偏光片和析光片光軸位置的校正並反推待測物之折 射率，由於與預估值不合，故第二個步驟是推敲待測物反射的型態。