平行機流程性生產排程探索模式之研究

Abstract

本研究之目的，乃在針對半導體積體電路之製程，從事較有效率的排程設計，文中引 入生產排程探索法之照單排程(LSA) 、最長路徑(LPT) 及最短路徑(SPT) 準則，再依 據排程資料從事規劃設計。然在深入探索積體電路製程後，有兩件特需解決的問題： 一、積體電路製程中，彼此有先後的相關次序，且各加工步驟中，均有同質設備多部 。 二、積體電路製程，時有重覆多次不連續的加工步驟。因此本文是以平行機流程性 (Parallel-processor Flowshop)生產組態的觀點著眼，希望經由探索法排程規劃模 式之了解，而能夠處理平行機流程性生產組態的排程問題，研究中亦將修改無反覆平 行機模式，以提出“反覆式”平行機探索法模式之解法，而將探索法模式中之各種準 則，運用於實際之半導體製程初步規劃中。 利用dbase程式規劃設計後，本研究所獲得結論是： 一、藉由無反覆平行機之修正，且記錄每一加工設備運作情形，本研究提出了積體電 路之排程設計方法，而評估績效之標準，本文亦以相對績效配合“最長加工時間”來 衡量。 二、針對包含257道之製程規劃之標準案例作績效評估，研究發現LSA、LPT 及SPT 三 種法則，對積體電路排程設計之績效，在運用重覆性量測之多變量分析時，其平均值 無差異，亦即三種法則於本研究情境排程績效相同。