光學外差表面粗糙度測量術

Abstract

本論文提出一種外差光學共軸的技術來量測物體表面的粗糙度，運用這技術的光學機 構並與電腦結合，以達成自動化量測的目地並減少龐大資料處理過程中的單調性，且 能及時顯示測量結果也達到光電系統整合目的。首先利用所調制的電光晶體得到差頻 的目的，參考信號與測試信號之間的相位差是粗的函數，籍由分析這函數可計算出表 面粗糙度值。