完整後設資料紀錄
DC 欄位 | 值 | 語言 |
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dc.contributor.author | 顏順通 | en_US |
dc.contributor.author | Yan, Shun-Tong | en_US |
dc.contributor.author | 李建平 | en_US |
dc.contributor.author | Li, Jian-Ping | en_US |
dc.date.accessioned | 2014-12-12T02:16:28Z | - |
dc.date.available | 2014-12-12T02:16:28Z | - |
dc.date.issued | 1995 | en_US |
dc.identifier.uri | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT844430015 | en_US |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11536/61255 | - |
dc.description.abstract | 太陽電池的研究發展,可以製造技術的改進及材料的選擇兩方面進行,本文就此目 標,建立一套經濟實用的" 低壓化學氣相沈積系統 ",並運用此系統做非晶形矽薄 膜的研製及其應用。 利用低壓反應系統(0.1~2.0 torr)在低溫區加熱基片(0~500。C)並經輝光放電的效 應,使通過反應腔的矽甲烷氣體(SiH4)反應分解,得非晶形矽薄膜沈積於基片上, 由改變系統的控制參數,如反應壓力、流量、沈積溫度等來探討它們對非晶形矽膜 結構及電性的影響。 其次,利用同一系統,使預先混合之" 矽甲烷及極少量的硼乙烷(B2H6) "氣體反應 分解得沈積之P 型非晶形矽膜; 又以" 矽甲烷及少量的磷化氫(PH8) " 混合反應分 解得沈積之N 型非晶形矽膜,並做N 型及P 型非晶形矽膜的特性研討及應用。 | zh_TW |
dc.language.iso | zh_TW | en_US |
dc.subject | 電子工程 | zh_TW |
dc.subject | ELECTRONIC-ENGINEERING | en_US |
dc.title | 量子井雷射之研究 | zh_TW |
dc.title | Studies of quantum well lasers | en_US |
dc.type | Thesis | en_US |
dc.contributor.department | 電子研究所 | zh_TW |
顯示於類別: | 畢業論文 |