前瞻式成批加工法則之探討

Abstract

在晶圓製造中，成批加工的時間佔去整個晶圓製造的30%以上。主因是加工時間較長，且在成批機台的等候線中會有機台稼動率和晶圓等候時間的交換關係，因此成批機台往往會是整個晶圓製程中的限制資源。在以往的文獻中有許多關於成批機台的派工法則，就多位學者的研究指出前瞻型的派工法則對於等候時間及機台稼動率都有優於傳統最小批量法(MBS)的表現。這些派工法則有：DBH、NACH、MCR以及DJAH。但是這些方法都沒有考量晶圓的交期，所以對於落後交期的工單卻無法加快該工單的生產時間。在本研究中將提出考量交期的前瞻式成批派工法則LBCR，希望能有效提昇達交率以及減少平均延遲時間。 本研究首先將對上述選定MBSX、NACH、MCR、DJAH以及LBCR派工法則進行修正，使其適用於多機、多產品的晶圓製造環境。接著利用實驗設計的手法，將包含生產線交通密度、產品數以及產品比例的生產環境因子納入考量，藉以比較五種成批機台派工法則的優劣。經模擬實驗分析，發現LBCR在延遲比例以及平均延遲時間上明顯優於其他成批加工法則。