應用知識管理於設備維修流程之研究與實作-- 以半導體設備產業為例

Abstract

在全球競爭環境下，企業為了永續經營，紛紛尋求資訊科技的輔助，應用與累積企業的內部知識，快速且確實落實企業策略。然而進行公司內部資源整合與收集時常常會遭受極大的阻力，使得產業知識無法累積與使用。 然而半導體製造業是一種要求高精密度且技術密集的工業，昂貴的生產設備佔所有生產成本的比例相當的高，而且生產設備能否正常運作對半導體製造的產能、良率與品質將會造成直接的影響。至於在半導體設備維修方面，目前國內半導體設備的維修主要還是靠著工程師與專家的經驗與維修手冊來執行，但因為離職或退休等種種因素使得許多工程師與專家的經驗與知識無法傳承下來，而且都常要從厚厚的維修手冊中找出正確的維修知識也使得維修效率不彰。另一方面，半導體製造設備種類繁多、技術性高等因素亦增加了故障維修的困難。 因此，本研究針對半導體設備故障維修的作業流程，利用一系列的知識管理活動，構建一整合知識管理與設備維修流程之模型，除此之外還開發一套以案例式推理(Case-Based Reasoning)為基礎的線上設備維修知識管理雛型系統，將電漿化學氣相沉積設備(PECVD)複雜的故障維修知識加以分類並作有系統的歸納，使得維修人員可以利用此系統有效率地得到故障維修上的正確資訊，以作為設備故障維修決策的重要參考依據。 本研究所構建的線上設備維修知識管理系統有以下幾個優點:圖形化介面操作容易、利用網路瀏覽器隨時可使用本系統、可以有效率地搜尋到相關的維修案例資料、故障診斷相似度演算法與參數值可作適度的修改使系統更具有彈性。