利用融合接合製作微環型陀螺儀

Abstract

摘要 一般的感測器中，通常需要量測的訊號都非常的小。如果採取打線的方式將訊號接出來，則因為寄生電容與寄生電阻的產生，使的原本就很小的訊號，將與雜訊混合在一起而使雜訊比變小，當我們將此訊號放大時，我們雖會得到較大的訊號但是雜訊比依然很小，這會增加我們量測上的困難。本篇論文中，欲改善雜訊比的目標是微陀螺儀，它是採取陽極接合的方式，經過乾式蝕刻而製做出來並且黏附在玻璃上面，然後打線將訊號讀出，此製程具有簡單性及可行性。但是因為玻璃不適合一般IC製程，所以無法將放大電路與結構坐在同一片矽晶元上。本篇論文在於提出一個新的製程，利用融合接合的方式使放大電路可以與結構做在同一片矽晶圓上。讓訊號在拉出來做放大與量測前，即可做一個初步的放大，提高雜訊比。