PC-BASED 控制器於快速熱處理上之實現

Abstract

本論文是使用Real Time UML開發工具Rhapsody來設計PC-Based控制器並實現於半導體製程中的快速熱處理器（RTP）。程式的開發可分為兩部分：人機介面與控制器核心。人機介面可由圖形化使用者介面（GUI）便可即時得知系統狀態、各項相關信號、溫度曲線。利用Rhapsody實現控制器，可讓設計者藉由模擬瞭解到可能發生的問題及是否滿足設計需求。另外針對Real Time的要求，透過Rhapsody其抽象工廠的功能，來選擇應用程式編譯和執行環境的要求，並利用此功能應用在Venturcom RTX上來規劃決定性的計時器。 在RTP系統控制方面，則是利用系統鑑別法N4SID(Numerical Subspace State Space System Identification)來完成RTP系統鑑別。N4SID利用三組獨立PRBS輸入訊號，量測其輸出響應，並根據輸入輸出資料，找出RTP的狀態方程式。以此狀態方程式為依據，設計一組多輸入多輸出的適應性極點放置的控制器（APPC, Adaptive Pole Placement Controller）。此APPC控制架構的優點在於可以即時學習系統的狀態並根據此狀態來調整控制器的參數，達到線上學習的效果。最後本論文根據此控制器的架構於RTP機台驗證。