標題: | 隨機記憶體用超薄氧化鉭介電薄膜電容之研發 Ultra Thin Ta/sub 2/O/sub 5/ Film Capacitor for DRAM |
作者: | 林鵬 LIN PANG 交通大學材料科學與工程系 |
關鍵字: | 動態隨機存取記憶體;介電常數;薄膜;電容;濺渡;DRAM;Dielectric constant;Thin film;Capacitor;Sputtering |
公開日期: | 2000 |
官方說明文件#: | NSC89-2215-E009-027 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/88478 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=525776&docId=95664 |
顯示於類別: | 研究計畫 |