集束型化學氣相沉積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作(Ⅱ)

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	李安謙	en_US
dc.contributor.author	LEE AN-CHEN	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:32:48Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:32:48Z	-
dc.date.issued	2004	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC93-AT-7009-001	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/91724	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=912040&docId=172361	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	集束型化學氣相沉積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作(Ⅱ)	zh_TW
dc.title	The Development of Software Simulator and Trainer of Chemical Vapor Deposition Equipment for Cluster Tool Manufacturing(II)	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	交通大學機械工程系	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫