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dc.contributor.author施敏en_US
dc.contributor.authorSZE SIMON MINen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:33:03Z-
dc.date.available2014-12-13T10:33:03Z-
dc.date.issued2003en_US
dc.identifier.govdocNSC92-2215-E009-019zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/91846-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=873427&docId=167323en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title具有低介電常數阻障介電薄膜製程整合之研究(II)zh_TW
dc.titleStudy on the Integration of Barrier Dielectric with Low Dielectric Constant (II)en_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department國立交通大學電子工程學系zh_TW
顯示於類別:研究計畫


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  1. 922215E009019.pdf

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