Title: 複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用(III)---子計畫III:MILC低溫複晶矽薄膜電晶體之退火製程開發、新穎結構及小尺寸元件之製作及研究
Study of Low Temperautre MILC Poly-Si Film and Its Application on Novel Strucutre Small Dimensional TFTs
Authors: 張俊彥
CHANG CHUN-YEN
國立交通大學電子工程學系
Issue Date: 2003
Gov't Doc #: NSC92-2215-E009-013
URI: http://hdl.handle.net/11536/92110
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=873412&docId=167318
Appears in Collections:研究計畫


文件中的檔案:

  1. 922215E009013.pdf

若為 zip 檔案,請下載檔案解壓縮後,用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。