標題: 複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用---子計畫III:MILC低溫複晶矽薄膜電晶體之退火製程開發、新穎結構及小尺寸元件之製作及研究(II)
Study of Low Temperautre MILC Poly-Si Film and Its Application on Novel Strucutre Small Dimensional TFTs (II)
作者: 張俊彥
CHANG CHUN-YEN
交通大學電子工程系
公開日期: 2002
官方說明文件#: NSC91-2215-E009-032
URI: http://hdl.handle.net/11536/92787
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=736765&docId=139419
Appears in Collections:Research Plans