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dc.contributor.author李安謙en_US
dc.contributor.authorLEE AN-CHENen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:35:19Z-
dc.date.available2014-12-13T10:35:19Z-
dc.date.issued2002en_US
dc.identifier.govdocNSC91-AT-7009-002zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/93336-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=790595&docId=151838en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title集束型半導體製程設備模擬器之軟體設計製作zh_TW
dc.titleHardware-in-the-Loop-Based Verification of Controller Software for Cluster Tool in Semiconductor Manufactureen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department交通大學機械工程系zh_TW
顯示於類別:研究計畫


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  1. 91AT7009002.pdf

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