極大型積體電路元件相關耐火金屬化物及電介質技術

完整後設資料紀錄

DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	張國明	en_US
dc.contributor.author	CHANG KOW-MING	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:36:52Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:36:52Z	-
dc.date.issued	1999	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC88-2215-E009-046	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/94225	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418084&docId=74163	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	極大型積體電路	zh_TW
dc.subject	耐火金屬	zh_TW
dc.subject	電介質	zh_TW
dc.subject	化學氣相沈積法	zh_TW
dc.subject	電子迴旋共振化學氣相沈積法	zh_TW
dc.subject	縱橫比	zh_TW
dc.subject	ULSI	en_US
dc.subject	Refractory metal	en_US
dc.subject	Dielectrics	en_US
dc.subject	CVD	en_US
dc.subject	ECR-CVD	en_US
dc.subject	Aspect ratio	en_US
dc.title	極大型積體電路元件相關耐火金屬化物及電介質技術	zh_TW
dc.title	ULSI Devices Related Refractory Metal and Dielectrics	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	交通大學電子工程研究所	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫

文件中的檔案：

若為 zip 檔案，請下載檔案解壓縮後，用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。