透射式微型偏轉鏡的設計與製作

標題:	透射式微型偏轉鏡的設計與製作 Design and Fabrication of the Beam Deflection Microlens
作者:	陸懋宏交通大學光電工程研究所
關鍵字:	活性離子蝕刻;微型偏轉鏡;繞射元件;二元光學;Reactive ion etching (RIE);Beam deflection microlens;Diffraction element;Binary optics
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2215-E009-009
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94246 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418384&docId=74232
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