熱導型加速計之研究

標題:	熱導型加速計之研究 Study on an Accelerometer of Thermal Conductivity Type
作者:	謝正雄交通大學光電工程研究所
關鍵字:	微機電系統;加速度計;熱導性;電阻式熱感測器;Micro electromechanical system (MEMS);Accelerometer;Thermal conductivity;Resistive thermal sensor
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2218-E009-013
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94437 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=445250&docId=80679
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