標題: | 熱導型加速計之研究 Study on an Accelerometer of Thermal Conductivity Type |
作者: | 謝正雄 交通大學光電工程研究所 |
關鍵字: | 微機電系統;加速度計;熱導性;電阻式熱感測器;Micro electromechanical system (MEMS);Accelerometer;Thermal conductivity;Resistive thermal sensor |
公開日期: | 1999 |
官方說明文件#: | NSC88-2218-E009-013 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/94437 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=445250&docId=80679 |
顯示於類別: | 研究計畫 |