以深蝕光刻術製作聚焦環---總計畫

Date

Authors

Keywords

同步輻射 , 深蝕光刻術 , Synchrotron radiation , Deep X-ray lithography

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=229976&docId=41766
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/95615

Collections

研究計畫;;Research Plans