以深蝕光刻術製作聚焦環---子計畫一：聚焦環之中間光罩製作

標題:	以深蝕光刻術製作聚焦環---子計畫一：聚焦環之中間光罩製作 Frabrication of Intermediate Masks for Fresnel Zone Plates
作者:	蘇翔國立交通大學電子工程學系
關鍵字:	X光;光罩;鼓膜;吸收劑;碳化矽;鑽石膜;深寬比;聚焦環;X-ray;Masks;Membrane;Absorber;Silicon carbide;Diamond film;Aspect ratio;Fresnel zone plates
公開日期:	1996
官方說明文件#:	NSC85-2215-E009-009
URI:	http://hdl.handle.net/11536/95616 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=229981&docId=41767
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