標題: 微機電系統校際整合研究---總計畫
Inter-Universities Collaborative Research on Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
作者: 張國明
CHANG KOW-MING
國立交通大學電子工程研究所
關鍵字: 微機電系統;感測器;致動器;微小元件;微加速度計;機構設計;熱交換器;積體電路;MEMS;Sensor;Actuator;Microdevice;Micro-accelerrometer;Mechanical design;Heat exchange;IC
公開日期: 1996
官方說明文件#: NSC85-2215-E009-028
URI: http://hdl.handle.net/11536/96125
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234673&docId=43083
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