標題: | 金屬及金屬矽化物技術 Metal and Silicide Metallization Technologies |
作者: | 張國明 CHANG KOW-MING 國立交通大學電子工程研究所 |
公開日期: | 1995 |
官方說明文件#: | NSC84-2215-E009-073 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96837 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=160977&docId=26776 |
顯示於類別: | 研究計畫 |