| 標題: | 微小機電元件與系統之研究---子計畫一：電容性微感器及微控器元件結構設計與製造 Capacitive Microsensors and Microactuators Device Structure Design and fabrication |
| 作者: | 張國明 CHANG KOW-MING 國立交通大學電子工程研究所 |
| 關鍵字: | 微小機電系統;微感測器;微控制器;微小元件;MEMS;Microsensors;Microactuators;Microdevices |
| 公開日期: | 1995 |
| 摘要: | 本群體計畫將整合本校具電子、機械、材 料、物理及應用化學等專才,研究發展矽基材 之電容性微感測器(microsensors)、微控器( microactuators)及微小機電系統(MEMS)(Micro-electro-mechanical systems).本子計畫將包含:(1) 感測器-如醫學用助聽器及氣流控制等高靈敏 度感測器;(2)控制器-氣體與流體閥及開關及光 通信等;(3)以回授感測器自校正之感測器及控 制器;(4)表面微小感測器.本計畫分三年實施,第 一年將研究Bulk micromachined微感測器結構製程設 計研究(含feedthrough結構製程設計)與製作.第二 年繼續元件製作之發展,元件製造評估及IC與感 測器積體設計製作及Surface micromachined微感測器 結構製程設計研究.第三年將研究控制器及表 面微小機電元件製作.本實驗研究結果未來將 提供高性能微感測器及微控制器MEMS系統技術 給電子工業界. |
| 官方說明文件#: | NSC84-2215-E009-069 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/96897 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=197481&docId=34622 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
