標題: | 低寄生旋轉二維平面奈米定位器之設計 Design of Two-Dimension Planar Nano-Positioner with Low Parasitical Rotation |
作者: | 洪紹剛 Hung Shao-Kang 國立交通大學機械工程學系(所) |
公開日期: | 2014 |
官方說明文件#: | MOST103-2221-E009-019 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/99828 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=8312693&docId=439000 |
顯示於類別: | 研究計畫 |