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2007TCP9400SE電漿蝕刻機台阻抗匹配網路的初始值設定郭家瑋; 林家瑞; 機械工程學系
2003化學機械平坦化之最佳化操作：動態規劃法李永洲; 林家瑞; 機械工程學系
2006化學機械研磨機台先進製程控制器設計與實作林家瑞; LIN CHIA-SHUI; 交通大學機械工程系
2005化學機械研磨機台製程設備模擬器及控制器之設計與實作陳鼎銘; Ting-Ming Chen; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2004化學機械研磨移除厚度之批片雙模式自適應控制黃俊霖; Geung-Lin Huang; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2007化學機械研磨製程之控片與樣片之移除率及不平坦度預測與分析袁啟文; Chi-Wen, Yuan; 陳宗麟; 林家瑞; Tsung-Lin Cheng; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2006多輸入多輸出化學機械研磨製程控制陳盈瑞; Ying-Ruey Chen; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2003嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術的先進製程控制林家瑞; LIN CHIA-SHUI; 國立交通大學機械工程學系
2007微影及蝕刻製程之關鍵尺寸控制郭富存; 鄭泗東; 林家瑞; 機械工程學系
2005應用微影覆蓋誤差的錯誤診斷分析改善微影製程總體設備效能黃育昌; Yu-Chang Huang; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 工學院精密與自動化工程學程
2003應用模糊類神經網路於銅膜化學機械研磨之批次製程控制薛木坤; 林家瑞; 機械工程學系
2005應用福特8D及限制理論問題解決方法改善化學機械研磨製程總體設備效能王升暉; Sheng-Hui Wang; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 工學院精密與自動化工程學程
2003應用順滑模態理論操作化學機械研磨製程紀建宇; Chi, Chien-Yu; 林家瑞; Lin, Chia-Shui; 機械工程學系
2003變壓耦合式電漿二維流體模型與批次電漿蝕刻設備控制李介民; Chieh-Min Lee; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2003變壓耦合式電漿製程設備之先進設備控制張朝雯; Chao-wen Chang; 林家瑞; Chia-shui Lin; 機械工程學系
2004變壓耦合式電漿製程設備之蝕刻率批片控制廖木生; Mu sheng Liao; 林家瑞; Chia-shui Lin; 機械工程學系
2008變壓藕合電漿多晶矽乾式蝕刻機蝕刻深度的批次控制顏嘉良; Yen, Chia-Liang; 陳宗麟; 林家瑞; Chen, Tsung-Lin; Lin, Chia-Shui; 機械工程系所
2002電漿蝕刻製程的先進製程控制林家瑞; LIN CHIA-SHUI; 交通大學機械工程系
2007電漿輔助化學氣相沉積製程之模型分析與批次最佳化控制余偉庭; Wei-Ting Yu; 鄭泗東; 林家瑞; Stone Cheng; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2005電漿輔助化學氣相沉積設備之射頻阻抗匹配網路的模型建立與控制器設計邱文志; Wen-Chih chiu; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
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