標題: 低寄生旋轉二維平面奈米定位器之設計(II)
Design of Two-Dimension Planar Nano-Positioner with Low Parasitical Rotation (Ii)
作者: 洪紹剛
Hung Shao-Kang
國立交通大學機械工程學系(所)
公開日期: 2015
官方說明文件#: MOST104-2221-E009-037
URI: http://hdl.handle.net/11536/129905
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=11570164&docId=468327
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