光學元件形貌量測之雷射位移計

標題:	光學元件形貌量測之雷射位移計 Specular optics element surface profile measurement with high-speed laser displacement sensor
作者:	王子榮 Wang, Tzu-Jung 陳永富蘇冠暐 Chen, Yung-Fu Su, Kuan-Wei 理學院應用科技學程
關鍵字:	雷射位移計;laser displacement sensor
公開日期:	2009
摘要:	本論文的目標是針對透明物件的形貌作量測•目前常見的光學元件量測方法，以外形輪廓量測法及干涉量測法為主，我們嘗試不同的方式，以非接觸式雷射三角位移感測器為基本架構，將雷射光入射至透明被測物的表面上散射後，利用透鏡收集微弱的散射光聚焦在光感測器上，由光斑所在位置的幾何關係可以得到被測物的形貌，然後利用光圈抑制像差，並藉由光學質心法的演算，改善了量測的精確度，實驗中並克服了光學元件反射率極低的特性，成功的快速量測出透明物件的形狀，如透鏡的曲率半徑等•
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#GT079777513 http://hdl.handle.net/11536/46497
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