標題: 以電漿腐刻在鈮酸鋰上製造積體光學研究
作者: 盧春林
Lu, Chun-Lin
李崇仁
Li, Chong-Ren
電子研究所
關鍵字: 電漿腐刻;鈮酸鋰;積體光學;電子工程;ELECTRONIC-ENGINEERING
公開日期: 1979
摘要: 本論文研究電漿腐刻在鈮酸鋰上的應用。實驗結果顯示,電漿腐刻在腐刻鈮酸鋰以製 造非平面式積體光學元件方面是很有潛力的。兩個實用的積體光學元件,亦即脊形波 導兩進兩出光線開關和多週期光柵透鏡即利用此種技術製造。實驗結果顯示這兩個元 件的特性可以比美於甚或優於鈦擴散型平面式波導。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT684430031
http://hdl.handle.net/11536/51178
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