利用低壓化學氣相堆積法成長之複晶矽電阻器所組成的溫度計

Abstract

本文利用低壓化學氣相堆積法研製複晶矽電阻器，以作為在互補式金氧半場效電晶體 多諧振盪器內的溫度敏感電阻，並組成溫度計。此溫度計能在攝氐二十五度到四十五 度之間準確地測量溫度。本文所研製的溫度計具有穩定、低電力、高敏感度、及將乎 線性等特性，其工作原理和實驗結果均在文中詳細地敘。 本文亦將複晶矽電阻器所組成之熱阻體的溫度效應關係式推導出來，並研製具有磷雜 質的複晶矽電阻器，以證明計算機模擬的結果。 本文亦把複晶矽的傳導模型做一個複習，同時亦針對計算機模擬所發現之空乏近似的 失效加以詳細討論。