多層結構矽化鎢之特性

Abstract

在積體電路中，矽化鎢經常被用作內部連線，如鎢含量較高時，則有相當嚴重的掀裂 及氧化問題。本報告即在探討多層結構矽化鎢之應用，以防止掀裂及氧化。 多層結構矽化鎢被證實能防止鎢的氧化，而分段退火則可避免掀裂，且能維持矽化鎢 的低電阻特性。