標題: 鉑/ 鎳鉻合金/ 矽及鉑/ 鎳鈦合金/ 矽蕭特基二極體特性之研究
作者: 王建國
WANG, JIAN-GUO
雷添福
蘇翔
LEI, TIAN-FU
SU, XIANG
電子研究所
關鍵字: 鉑;鎳鉻合金;矽;鎳鈦合金;蕭特基二極體;二極體;合金
公開日期: 1988
摘要: 本論文針對鉑╱鎳鉻合金╱矽(Pt╱Ni Cr ╱Si)及鉑╱鎳鈦合金╱矽(Pt╱Ni Ti ╱Si) 蕭特基二極體在各種不同退火溫度及退火時間之條件下,作一系列之探 討。研究結果顯示,此二種結構在經過退火處理後,鎳矽化物蕭特基接觸及對鉑之擴 散阻擋層可同時形成。吾人並依據鉻及鈦作為對鉑之擴散阻擋層具有之機制建立此二 種蕭特基二極體之最佳化合金比例及退火處理條件。對鉑╱鎳鉻合金╱矽而言,由於 蕭特基能障高度(Schottky Barrier Height) 之熱穩定性需與理想因數(Indeali- ty Factor) 互相調和,因此鎳 鉻 (Ni Cr )會是最佳之合金比例。此一 比例之最佳退火條件為480℃、60分鐘。對鉑╱鎳鈦合金╱矽形成介於金屬間化 合物(Intermetallic Compound),因而具有較佳之阻擋鉑之效果,也因而有較好之 能障高度熱穩定性及理想因數。 此外,吾人亦比較此二種二極體之電性及物性,結果顯示由於鎳、鈦矽化物形成溫度 差較大及鈦矽化物阻值較鉻化物為低之原因,使得鉑╱鎳鈦合金╱矽具有較佳之熱穩 定性。 在鉑╱鎳鉻合金╱矽反應中,吾人觀察到相分離(phase-Separation)之現象,但在 鉑╱鎳鉻合金╱矽中,鈦在經過高溫退火處理後會延展(Spread)開來,而不會形成 相分離。 由於在整流元件方面之運用,吾人亦探討二極體之逆向特性在不同製程條件下,其崩 潰電壓及漏電流之變化,並製造出一個崩潰電壓47伏(在此逆電壓時,漏電流小於 400微安培)之蕭特基二極體。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT772430073
http://hdl.handle.net/11536/53943
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