量子井雷射之研究

Abstract

太陽電池的研究發展，可以製造技術的改進及材料的選擇兩方面進行，本文就此目 標，建立一套經濟實用的" 低壓化學氣相沈積系統 "，並運用此系統做非晶形矽薄 膜的研製及其應用。 利用低壓反應系統(0.1~2.0 torr)在低溫區加熱基片(0~500。C)並經輝光放電的效 應，使通過反應腔的矽甲烷氣體(SiH4)反應分解，得非晶形矽薄膜沈積於基片上， 由改變系統的控制參數，如反應壓力、流量、沈積溫度等來探討它們對非晶形矽膜 結構及電性的影響。 其次，利用同一系統，使預先混合之" 矽甲烷及極少量的硼乙烷(B2H6) "氣體反應 分解得沈積之P 型非晶形矽膜; 又以" 矽甲烷及少量的磷化氫(PH8) " 混合反應分 解得沈積之N 型非晶形矽膜，並做N 型及P 型非晶形矽膜的特性研討及應用。