標題: 熱導型微加速度計之特殊結構與製程
Special Structure and Process of Thermal Conductivity Type Micro Accelerometer
作者: 詹育鈞
Zhan, Yu-Jun
謝正雄
黃凱風
Xie, Zhang-Xiong
Huang, Kai-Feng
物理研究所
關鍵字: 熱導型;微加速度計;浮板結構;微間距;特殊之矽正向異方蝕刻技術
公開日期: 1997
摘要: 本論文主旨為製作新型浮板結構以為熱導型微加速度計之用。運用特殊之矽(111) 正向異方蝕刻技術,製作微間距的浮板結構,其材料是以抵應力之富矽氮化矽為結 構層,白金(Pt)為感測電阻,黃金(Au)為重錘。其中並設計三種浮板支腳結構,以 做為提升元件靈敏度之參考,最後探討何種浮板支腳結構適合製作大面積之熱導型 微加速度計。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT863198001
http://hdl.handle.net/11536/63402
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