熱導型微加速度計之特殊結構與製程

Abstract

本論文主旨為製作新型浮板結構以為熱導型微加速度計之用。運用特殊之矽(111) 正向異方蝕刻技術，製作微間距的浮板結構，其材料是以抵應力之富矽氮化矽為結 構層，白金(Pt)為感測電阻，黃金(Au)為重錘。其中並設計三種浮板支腳結構，以 做為提升元件靈敏度之參考，最後探討何種浮板支腳結構適合製作大面積之熱導型 微加速度計。