熱導型微加速度計之特殊結構與製程

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	詹育鈞	en_US
dc.contributor.author	Zhan, Yu-Jun	en_US
dc.contributor.author	謝正雄	en_US
dc.contributor.author	黃凱風	en_US
dc.contributor.author	Xie, Zhang-Xiong	en_US
dc.contributor.author	Huang, Kai-Feng	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-12T02:19:24Z	-
dc.date.available	2014-12-12T02:19:24Z	-
dc.date.issued	1997	en_US
dc.identifier.uri	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT863198001	en_US
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/63402	-
dc.description.abstract	本論文主旨為製作新型浮板結構以為熱導型微加速度計之用。運用特殊之矽(111) 正向異方蝕刻技術，製作微間距的浮板結構，其材料是以抵應力之富矽氮化矽為結構層，白金(Pt)為感測電阻，黃金(Au)為重錘。其中並設計三種浮板支腳結構，以做為提升元件靈敏度之參考，最後探討何種浮板支腳結構適合製作大面積之熱導型微加速度計。	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	熱導型	zh_TW
dc.subject	微加速度計	zh_TW
dc.subject	浮板結構	zh_TW
dc.subject	微間距	zh_TW
dc.subject	特殊之矽正向異方蝕刻技術	zh_TW
dc.title	熱導型微加速度計之特殊結構與製程	zh_TW
dc.title	Special Structure and Process of Thermal Conductivity Type Micro Accelerometer	en_US
dc.type	Thesis	en_US
dc.contributor.department	物理研究所	zh_TW
顯示於類別：	畢業論文