標題: 氣化氫氟酸在奈米金氧半電晶體之應用及其設備之開發(II)
Processes and System Development of HF-Vapor for Nano Mosfets' Application(II)
作者: 趙天生
CHAO TIEN-SHENG
交通大學電子物理系
公開日期: 2006
官方說明文件#: NSC95-2221-E009-272
URI: http://hdl.handle.net/11536/89739
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1309496&docId=241986
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