標題: 集束型化學氣相沉積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作(Ⅱ)
The Development of Software Simulator and Trainer of Chemical Vapor Deposition Equipment for Cluster Tool Manufacturing(II)
作者: 李安謙
LEE AN-CHEN
交通大學機械工程系
公開日期: 2004
官方說明文件#: NSC93-AT-7009-001
URI: http://hdl.handle.net/11536/91724
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=912040&docId=172361
顯示於類別:研究計畫