以電化學法微細加工同步輻射X光深刻微構件(II)

標題:	以電化學法微細加工同步輻射X光深刻微構件(II) Electrochemical Micromachining of Synchrotron X-Ray Lithographed Microstructure (II)
作者:	涂肇嘉交通大學材料科學與工程研究所
關鍵字:	同步輻射X光;微細加工;光蝕術;電化學蝕刻;微探針;Synchrotron X-ray;Micromachining;Lithography;Electrochemical etching;Microprobe
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2216-E009-021
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94533 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=444261&docId=80456
顯示於類別：	研究計畫