利用MOCVD製備高介電閘極材料之研究

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Keywords

有機金屬化學氣相沈積法 , 高介電閘 , 製備 , MOCVD , High dielectric gate , Formation

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665840&docId=126409
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94576

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研究計畫;;Research Plans