标题: | 晶圆制造厂黄光区派工法则之研究 A Study of Dispatching Rules for Photolithography Area in Wafer Fabrication Factories |
作者: | 李庆恩 交通大学工业工程与管理系 |
关键字: | 晶圆制造;黄光区;瓶颈;派工法则;Wafer fabrication;Photolithography area;Bottleneck;Dispatching rule |
公开日期: | 1997 |
官方说明文件#: | NSC86-2213-E009-001 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/95394 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=268639&docId=47816 |
显示于类别: | Research Plans |