標題: | 低溫液相沈積二氧化矽薄膜之研究發展 Investigations and Developments Room-Temperature Liquid-Phase Deposition of SiO/sub 2/ Film |
作者: | 葉清發 國立交通大學電子工程研究所 |
公開日期: | 1995 |
官方說明文件#: | NSC84-2215-E009-054 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96391 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=172143&docId=29236 |
顯示於類別: | 研究計畫 |