標題: 利用電弧離子蒸著法研究高機能性硬質薄膜之製作與評價
Preparation and Evaluation of Functional Solid Hard Thin Films by Arc Ion Plating
作者: 陳家富
CHEN CHIA-FU
國立交通大學材料科學工程研究所
關鍵字: 離子鍍層法;電漿;陶瓷薄膜;電弧離子鍍層法;Ion plating;Plasma;Ceramics film;Arc ion plating
公開日期: 1995
官方說明文件#: NSC84-2216-E009-019
URI: http://hdl.handle.net/11536/96547
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=198948&docId=34806
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