標題: 光學元件形貌量測之雷射位移計
Specular optics element surface profile measurement with high-speed laser displacement sensor
作者: 王子榮
Wang, Tzu-Jung
陳永富
蘇冠暐
Chen, Yung-Fu
Su, Kuan-Wei
理學院應用科技學程
關鍵字: 雷射位移計;laser displacement sensor
公開日期: 2009
摘要: 本論文的目標是針對透明物件的形貌作量測•目前常見的光學元件量測方法,以外形輪廓量測法及干涉量測法為主,我們嘗試不同的方式,以非接觸式雷射三角位移感測器為基本架構,將雷射光入射至透明被測物的表面上散射後,利用透鏡收集微弱的散射光聚焦在光感測器上,由光斑所在位置的幾何關係可以得到被測物的形貌,然後利用光圈抑制像差,並藉由光學質心法的演算,改善了量測的精確度,實驗中並克服了光學元件反射率極低的特性,成功的快速量測出透明物件的形狀,如透鏡的曲率半徑等•
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#GT079777513
http://hdl.handle.net/11536/46497
顯示於類別:畢業論文