標題: | 光學元件形貌量測之雷射位移計 Specular optics element surface profile measurement with high-speed laser displacement sensor |
作者: | 王子榮 Wang, Tzu-Jung 陳永富 蘇冠暐 Chen, Yung-Fu Su, Kuan-Wei 理學院應用科技學程 |
關鍵字: | 雷射位移計;laser displacement sensor |
公開日期: | 2009 |
摘要: | 本論文的目標是針對透明物件的形貌作量測•目前常見的光學元件量測方法,以外形輪廓量測法及干涉量測法為主,我們嘗試不同的方式,以非接觸式雷射三角位移感測器為基本架構,將雷射光入射至透明被測物的表面上散射後,利用透鏡收集微弱的散射光聚焦在光感測器上,由光斑所在位置的幾何關係可以得到被測物的形貌,然後利用光圈抑制像差,並藉由光學質心法的演算,改善了量測的精確度,實驗中並克服了光學元件反射率極低的特性,成功的快速量測出透明物件的形狀,如透鏡的曲率半徑等• |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#GT079777513 http://hdl.handle.net/11536/46497 |
顯示於類別: | 畢業論文 |