光學元件形貌量測之雷射位移計

标题:	光学元件形貌量测之雷射位移计 Specular optics element surface profile measurement with high-speed laser displacement sensor
作者:	王子荣 Wang, Tzu-Jung 陈永富苏冠暐 Chen, Yung-Fu Su, Kuan-Wei 理学院应用科技学程
关键字:	雷射位移计;laser displacement sensor
公开日期:	2009
摘要:	本论文的目标是针对透明物件的形貌作量测•目前常见的光学元件量测方法，以外形轮廓量测法及干涉量测法为主，我们尝试不同的方式，以非接触式雷射三角位移感测器为基本架构，将雷射光入射至透明被测物的表面上散射后，利用透镜收集微弱的散射光聚焦在光感测器上，由光斑所在位置的几何关系可以得到被测物的形貌，然后利用光圈抑制像差，并藉由光学质心法的演算，改善了量测的精确度，实验中并克服了光学元件反射率极低的特性，成功的快速量测出透明物件的形状，如透镜的曲率半径等•
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#GT079777513 http://hdl.handle.net/11536/46497
显示于类别：	Thesis

APA	王., Wang, T., 陈., 苏., Chen, Y., & Su, K. (2009). 光学元件形貌量测之雷射位移计. http://hdl.handle.net/11536/46497.
Bibtex	@article{王子荣 and Wang2009, title={光学元件形貌量测之雷射位移计}, author={王子荣 and Wang, Tzu-Jung and 陈永富 and 苏冠暐 and Chen, Yung-Fu and Su, Kuan-Wei}, journal={http://hdl.handle.net/11536/46497}, year={2009}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/46497?locale=zh_CN}, }