複晶矽熱感測元件之製作

標題:	複晶矽熱感測元件之製作 Fabrication of polycrystalline silicon thermal sensing device
作者:	林學仕 LIN, XUE-SHI 葉清發 YE, QING-FA 電子研究所
關鍵字:	複晶矽;熱感測元件製作
公開日期:	1991
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802430046 http://hdl.handle.net/11536/56080
Appears in Collections:	Thesis