複晶矽薄膜電晶體電漿鈍化效應之研究

Abstract

複晶矽薄膜電晶體經電漿鈍化處理後電性有明顯的提昇，本文針對不同的氮氣氫氣 混合比例電漿進行研究，結果發現含有氮氣的氫電漿呈現比純氫電漿處理更佳的電 性。另外，無線電頻率激發的氧電漿亦被採用來與氮氣等比例混合電漿做比較，由 於氧電漿具有雙鍵鈍化與晶粒成長的雙重效果，所以在元件特性上，比氮氫混合電 漿呈現較好的改善。除此之外，我們也用微波激發電漿的系統和無線電頻率電漿做 比較，因為微波電漿系統具有較高的電漿密度，以及造成較少的電漿破壞，因此， 元件的漏電流能被大幅的降低。