嵌附減光式相移光罩吸光相移層研製

標題:	嵌附減光式相移光罩吸光相移層研製 Fabrication of Absorptive Shifter Layer for Embedded Attenuated Phase Shift Mask
作者:	龍文安 Loong Wen-an 交通大學應用化學系
關鍵字:	相移光罩;嵌入;減光;微影技術;Phase shifting mask;Embedding;Attenuated;Microlithography
公開日期:	1997
官方說明文件#:	NSC86-2215-E009-036
URI:	http://hdl.handle.net/11536/95360 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=283436&docId=51274
Appears in Collections:	Research Plans