微機電系統校際整合研究---子計畫六：蜂巢形撓性微型機構的設計

標題:	微機電系統校際整合研究---子計畫六：蜂巢形撓性微型機構的設計 Design of a Honeycomb Compliant Micromechanism
作者:	徐文祥 HSU WENSYANG 國立交通大學機械工程學系
關鍵字:	微致動器;蜂巢型撓性微機構;撓性接頭;靜電力;微機制;半導體製程;多晶矽薄膜;Microactuator;Honeycomb compliant micromechanism;Flexural joint;Electrostatic force;Micromachining;IC process;Polysilicon thin film
公開日期:	1996
官方說明文件#:	NSC85-2215-E009-033
URI:	http://hdl.handle.net/11536/95645 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230190&docId=41824
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